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[アプリケーションノート] 日本ヒューレット・パッカード HP10897B レーザ補正ボード

高分解能VMEbusレーザ・アクシス・ボード

商品紹介

概要 Keysight 10897B VMEbusレーザ・アクシス・ボードは、市場で入手可能なポジショニング・システムでは最高の測定分解能を提供します。最高、0.3nmの分解能により、IC製造システムのような高度な製品に、超精密な位置情報(または距離情報)を提供します。 10897Bは、0.7m/sのプレーンミラー・スルーレートに等価な周波数でテストされています。
このアクシス・ボードは、波長を36ビットの位置データで出力します。このデータはVMEbusから読み取り可能で、P2コネクタのA列とC列のリアルタイム・ハードウェア位置出力からも利用可能です。データ・レートが高速なため、広帯域、高性能の閉ループ・アプリケーションに適応できます。適切なレーザと光学部品で構成されていますので、 10897Bは、ダイナミック測定に対して優れた位置精度を提供します。
・データ・エージのあいまいさの低減によりダイナミック確度を保証
・低ノイズで高い再現性
・電気的にも機械的にも完全にVMEbus仕様に準拠
・プログラマブル信号ルーティング
・3年間保証の高信頼性
・1枚のボードに統合することで、システムのサイズ、複雑さ、開発期間およびコストの低減を実現
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