半導体製造装置
「半導体装置」とも略記される、半導体の生産設備のこと。半導体の生産にはいくつもの行程があり(前工程、後工程)、高シェアの日本の装置メーカが何社もある。大手5社としては、東京エレクトロン(エッチング、成膜など)、アドバンテスト(半導体テスタ)、ディスコ(精密加工)、SCREENホールディングス(旧大日本スクリーン製造株式会社、ウエーハ洗浄、露光など)、東京精密(プロービングなど)。半導体テスタは検査装置なので、計測器の1種としてJEMIMA(日本電気計測器工業会)の資料ではカテゴリーの1つに分類され、生産額統計などのデータが開示されている。