半導体パラメータアナライザ

半導体デバイスの特性を測定する機器。ソース部(電圧・電流発生器)と計測部(電流・電圧の測定)で構成され、ソフトウェアでプログラムを作成して使用する。構造はメインフレームで、ユニット式のSMUを装着して使う。DUTにどのように電圧・電流をあたえ、どこの電圧・電流を測定するかを測定器の画面で設定できる。半導体デバイスメーカは設計・開発・製造・検査のあらゆる部署で使う。デバイスメーカの基本測定器といえる。メーカはキーサイト・テクノロジーとケースレーの2社。SMUを多くラインアップしている日本のエーディーシーは半導体パラメータアナライザをつくる要素技術を持っているが製品はない(2021年1月現在)。

参考用語:カーブトレーサ
参考記事:アナライザあれこれ 第4回「半導体パラメータアナライザ, カーブトレーサ」
計測器情報:半導体パラメータアナライザの製品例