レーザー干渉計
レーザー反射光の干渉を利用して、ミラーやレンズなどの光学部品・精密部品の表面形状誤差(平面度、球面度)を高精度に測定する機器。
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レーザー反射光の干渉を利用して、ミラーやレンズなどの光学部品・精密部品の表面形状誤差(平面度、球面度)を高精度に測定する機器。