SMU

(source measure unit)
ソース・メジャー・ユニット。電圧電流発生(ソース)機能と測定(メジャー)機能の両方がある計測器。電流と電圧を供給し、同時に高速・高確度で電流、電圧、抵抗を測定する。電子部品や半導体デバイスのI-V特性などの評価に使われる。 ISVM(電流を印加して電圧を測定)やVSIM(電圧印加電流測定)の機能がある。電源(電流源、電圧源)とデジタルマルチメータ(DMM)だけでなく、オプションでファンクションジェネレータ、オシロスコープ、電子負荷、パルスジェネレータなどが揃うモデルもある。キーサイト・テクノロジーやケースレーは半導体パラメータアナライザというSMUを装着して使える測定器があり、高精度の測定器群を同期して使える。SMUは電圧電流源&メータなので、カテゴリーはDMMと同じ「電圧・電流・電力測定器 」に区分されるが、アプリケーションは電子部品や半導体デバイス評価である。一般にSMUというと、外観は据え置き型のDMMで、筐体にSMUを装着して使うモデルと、分離できない一体型のモデルがある。一体型モデルは「直流電圧電流発生器(/モニタ)」の品名が多い(エーディーシーや横河計測)。ケースレーは「ソースメータ」や「ソース・メジャー・ユニット(SMU)」と表現している。キーサイト・テクノロジーは「ソース/メジャー・ユニット」や「ソース/メジャメント・ユニット」と品名を表記している。

参考記事:高精度な電子部品の評価に貢献するSMU〜エーディーシー6253直流電圧・電流源/モニタ