計測関連用語集

TechEyesOnlineの用語集です。
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詳細説明

MEMS

読み方:

めむす

カテゴリー:

#その他

(Micro Electro Mechanical Systems)小さな電気機械システム。半導体の基板上に電子回路と、センサやアクチュエータなどの機械要素が混在するミクロンサイズのデバイス。

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