MEMS

(Micro Electro Mechanical Systems)
「微小電気機械システム」。半導体の基板上に電子回路とセンサ、アクチュエータなどの機械要素が混在するミクロンサイズのデバイス。高精度センサの1種で、自動車やスマホ、プリンタヘッドなどに使われている。主要メーカはTDK、村田製作所、キヤノン、セイコーエプソン、住友精密工業など。

毎年4月にMEMS Engineer Forum(MEF)が開催され、世界中のMEMS 研究者、開発者、技術者が東京で一堂に集う。2025年は4/16～17で、10地域20名が講演し、出展者数は55社・機関、出展者プレゼンテーションは35社、参加者数の累計は930名だった。2026年は4/20～21にThe 17th MEFが東京・両国のKFCホールで開催される。
2025年の出展社は、横河電機(センサ)、横河計測(マノメータ)、ポリテック(顕微鏡型レーザードップラ振動計)、Zurich Instruments AG(ロックインアンプ)、SPECTRA GmbH Dresden(超高周波 振動計測)、コーテック(中古機材)、日清紡マイクロデバイス、ミネベアミツミ、ロームなど。

The 16th MEF 2025