MEMS 読み方: めむす カテゴリー: #その他 (Micro Electro Mechanical Systems) 小さな電気機械システム。半導体の基板上に電子回路と、センサ、アクチュエータなどの機械要素が混在するミクロンサイズのデバイス。 参考記事 会員専用市場動向レポート 「センサ技術とIoTへの活用」2017年10月号 TechEyes Vol.25 MEMSの解説がある。 会員専用【展示会レポート】センサエキスポジャパン2018/SENSOR EXPO JAPAN 2018 3ページ目 横河電機が開発したメンテナンスフリーのMEMSセンサ(超高感度シリコン振動式気圧センサ)。