ATE

(Automated Test Equipment)
半導体の製造ラインにある検査装置のこと。日本語では「半導体検査装置」や「半導体試験装置」。半導体ウェーハと半導体チップ(パッケージされた完成品のデバイス)の2つの機能・性能を検査をする半導体テスタのことを指している。米国のTeradyneが、半導体デバイスの検査工程を人の手ではなくコンピュータによって自動化し、Automated Test Equipment(自動検査装置)と呼んだことに由来する。
前工程で完成したウェーハにプローバを使って検査したり、後工程でできあがった半導体デバイスを搬送機(ハンドラ)を使って効率良く検査したりする。半導体に電気信号を与えて、仕様通りの動作をするか試験する。メモリテスタ、ロジックテスタ、アナログテスタがある。製造ラインの設備額として比重が高いといわれる。
日本のアドバンテストは世界No1メーカとして有名。1970年代から2000年代には、キーサイト・テクノロジー、横河電機、安藤電気、シバソク、ミナトエレクトロニクスなどの計測器メーカがラインアップしていた(現在はシバソク以外はすべて撤退)。そのため、計測器の業界団体である日本電気計測器工業会(JEMIMA)も製品群として扱っているが、一般の電子計測器の各機種群の売上額と比べると半導体テスタは高額のため別枠にしている。
マイクロプロセッサ(MPU、CPU)の登場と進歩によって、メモリやロジックなどの多様な半導体チップが大量生産されるようになると、その検査装置としてキーサイト・テクノロジー(当時はHP)やアドバンテスト(当時はタケダ理研工業)は半導体テスタに参入した。NECや富士通、東芝、日立、三菱電機という日本の通信機器・総合電機各社は半導体デバイスをつくっていた。NECはグループ内に国産の半導体テスタメーカをもっていた(安藤電気、ミナトエレクトロニクス)。富士通はタケダ理研工業を傘下にして社名はアドバンテストになり、創業であった計測器から撤退して半導体テスタの専業メーカになった。当時の半導体テスタは最先端技術であり、計測器の老舗、横河電機も1990年代に参入した(2000年代に安藤電気の半導体テスタを吸収したが、現在は撤退)。

メモリの1種であるROM(ロム)の書き込み器をROMプログラマ(ROMライタ)というが、アドバンテスト、安藤電気、ミナトエレクトロニクスがラインアップしていた。ミナトエレクトロニクスは会社名が変わったが現在もつくり続けている。安藤電気の製品は、協力会社だった東亜エレクトロニクス(旧フラッシュサポート)に移管されて存続している。

化学の分野ではATE:Acute Toxicity Estimates(急性毒性推定値)という用語がある。また小文字でateはeat(食べる)の過去形「食べた」。接尾後の-ateは「〜する」「〜させる」「〜化する」という動詞をつくる。activate(アクティブにする → 活性化する)、create(創造する)。