5端子法
(five-terminal method)
低い抵抗値を測定する時に有効な4端子法に、さらにシールドを施してDUTの電位をグランドに等しくしたものが5端子法(4本の測定線と、測定器のFG端子につなぐ5本めの線がある)。高いインピーダンスの測定時に5端子法は有効である。この接続法は1Ω~10MΩまでの幅広いインピーダンス測定に対応できる。ただし電流ケーブルと電圧ケーブルの間の相互誘導の影響は少し残る。電磁誘導の影響を抑えた手法に4端子対法がある。5端子法を「シールデッド4端子法」(シールドされた4端子法)と表現している文献もある。
インピーダンス測定をするLCRメータなどは5端子法に対応している。三和電気計器株式会社のハンディLCRメータ(LCR700)のカタログには「5線測定方式(4端子ソケット+ガードライン)」と書かれている。ここでは5端子法を「5線測定」、5本目の線を「ガードライン」と表現している。