3端子法
(three-terminal method)
一般にテスタなどで抵抗を測定する場合は2本の線で測定対象(DUT)に接続する。これを2端子法と呼ぶ。2端子法の配線にシールドを加えてシールド導体はガード端子に接続したのが3端子法である。浮遊容量の影響が抑えられて、10MΩまでの高インピーダンス測定ができる。ただし接触抵抗や配線の直列インピーダンスが残るため10Ω以下の低インピーダンスの測定には向かない。3端子法を「シールデッド2端子法」(シールドされた2端子法)と表現している文献もある。
参考記事: LCRメータの基礎と概要 (第2回)の2ページ目・・試料との接続方法を図解。