電子顕微鏡
(electron microscope)
光線の代わりに高圧で加速された電子線を、光学レンズ(人がのぞく接眼レンズ)の代わりに電子レンズを用いた顕微鏡。光学顕微鏡の数万倍の倍率をもつ。
19世紀末にX線や電子が発見され、1920年代には電子レンズの理論が確立する。20世紀に入ると、可視光よりも波長の短い光源を使い、分解能を高くした顕微鏡が検討された(性能の向上)。1940年頃に欧米でSEM
(走査型電子顕微鏡)やTEM(透過型電子顕微鏡)が製品化された。電子顕微鏡によってnm(ナノメートル)オーダの分子レベルの形状観察が可能になった。現在も電子顕微鏡は進歩を続け、ナノテクノロジーの発展に寄与している。
電子顕微鏡と競合する製品にマイクロスコープがある。国産のキーエンスが有名だが、ハイロックスも高精度なモデルを開発している。また、国産のレーザーテックはコンフォーカル技術で世界初のレーザー顕微鏡を1985年に開発し、レーザー顕微鏡も電子顕微鏡やマイクロスコープと競合し、使いわけられている。
電子顕微鏡の正確な定義は難しい。各メーカの製品名称(品名)は電子顕微鏡ではないことが多い。つまり電子顕微鏡とはカテゴリー名で製品名ではない。そもそも顕微鏡の定義、範疇も人によって統一されているか、少し怪しいと筆者は思っている。


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