膜厚計

(film thickness meter)
塗装膜などの厚さを測定する機器。測定方式が複数あり、用途(アプリケーション)によって多くのメーカがある。大型の装置から可搬型のハンディモデルまであり、物によって外観は大きく異なる。など、測定方式が複数ある。
ドイツのフィッシャー・インストルメンツは電磁式と渦電流式を豊富にラインアップし、皮膜の種類と素地の組み合わせによってモデルを提案している。国産メーカも複数社あり、大塚製薬や大塚飲料などの大塚グループの計測・分析機器メーカである大塚電子は、半導体分野で使われる光学式の膜厚計のトップベンダである。顕微分光膜厚計の名称でベンチトップモデルがあるが、2024年にハンドヘルドの「スマート膜厚計 SM-100」を発売し(設計・製造:大塚電子、販売:ヤマト科学)、他社にはないオンリーワンとPRしている。
水分計が有名なケット科学も膜厚計をつくっている。サンコウ電子研究所も主要製品として膜厚計や超音波厚さ計を掲げている。ドイツのElektrophysik(エレクトロフィジック)社は非接触膜厚計のパイオニアといわれる。米国のルメトリクス社には赤外線を用いた多層膜厚測定器がある。このように内外に多くの膜厚計がある。