微粒子濃度計
(particulate concentration meter)
パーティクルカウンタの別称。パーティクルカウンタはレーザーなどの光を微粒子に当てて反射からその数を計測している。粒子・微粒子(パーティクル)を計数(カウント)する測定器。粒子の多さ(数)を清浄度の指標にしている。粒子の数は粒子の濃度といえるので、濃度計という呼称がある。
気体の清浄度を測定する気中パーティクルカウンタはクリーンルームの管理に、液中パーティクルカウンタは半導体や医薬品の製造過程で使われる。
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(particulate concentration meter)
パーティクルカウンタの別称。パーティクルカウンタはレーザーなどの光を微粒子に当てて反射からその数を計測している。粒子・微粒子(パーティクル)を計数(カウント)する測定器。粒子の多さ(数)を清浄度の指標にしている。粒子の数は粒子の濃度といえるので、濃度計という呼称がある。
気体の清浄度を測定する気中パーティクルカウンタはクリーンルームの管理に、液中パーティクルカウンタは半導体や医薬品の製造過程で使われる。