微粒子測定器

(particle measuring instrument)
空気中や液体中にある埃や不純物などの微粒子を計数する計測器で、パーティクルカウンタや粒度分布測定装置がある。気体や液体の清浄度として、微粒子の数を調べて目安としている。光を照射して微粒子による光の散乱から、数を計測することができる。気中パーティクルカウンタは、塵が混入しないように部屋の空気を保っているクリーンルームでは必須の測定器である。液中パーティクルカウンタは半導体や医薬品の製造などで使われる。有害な大気汚染物質の1つであるPM2.5濃度はレーザー粒子センサなどを使って計測されている。
計測器メーカは、国産ではリオン、海外ではPMS(Particle Measuring Systems)のモデルが豊富。風速計の国産ブランドである日本カノマックスやDanaher(ダナハー)グループのBeckman Coulter(ベックマン・コールター)もラインアップしている。
微粒子測定器は環境計測器や科学分析機器に分類されている。