半導体検査装置

半導体テスタ(約40%)、ウェーハ表面検査装置(約20%)、マスク検査装置(約20%)などの半導体デバイスの製造工程で使われる検査・試験装置のこと(かっこ内は2020年度の売上シェア推定)。半導体テスタは計測器の1種としてJEMIMA(日本電気計測器工業会)の資料ではカテゴリーの1つに分類され、生産額統計などのデータが開示されている。
ウェーハ表面検査装置のメーカ国籍別シェアはは米国、EU、日本の順番で米国が8割を占めているが、SEM(走査顕微鏡)で比較すると日本(60%)、米国(35%)と、日本が寡占である。(半導体デバイスではなく)材料や、生産設備である(検査装置を含む)製造装置の分野では日本にはトップシェアの企業が多くある。2021年に米国のバイデン大統領が中国を入れない半導体サプライチェーン構築を発表したが、日本に大きな期待をする所以である。
半導体テスタの世界トップシェアはケーエルエー・テンコール(略記:KLA)といわれる(日本にも技術者のいる拠点がある)。国産のアドバンテストはメモリテスタを中心に世界トップの半導体テスタメーカである。海外ではBRUKEA(ブルカー)、日本では日立ハイテクや浜松ホトニクスなどが半導体検査装置をつくっている。