計測関連用語集

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詳細説明

半導体パラメータアナライザ

読み方:

はんどうたいぱらめーたあならいざ

カテゴリー:

#半導体測定器

半導体デバイスの特性を測定する機器。ソース部(電圧・電流発生器)と計測部(電流・電圧の測定)で構成され、ソフトウェアでプログラムを作成して使用する。構造はメインフレームで、ユニット式のSMUを装着して使う。DUTにどのように電圧・電流をあたえ、どこの電圧・電流を測定するかを測定器の画面で設定できる。半導体デバイスメーカは設計・開発・製造・検査のあらゆる部署で使う。デバイスメーカの基本測定器といえる。メーカはキーサイト・テクノロジーとケースレーの2社。SMUを多くラインアップしている日本のエーディーシーは技術的には半導体パラメータアナライザをつくる能力があると思われるが、現在は参入を考えていない(2021年1月現在)。

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