計測関連用語集

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詳細説明

半導体テスタ

読み方:

はんどうたいてすた

カテゴリー:

#半導体測定器

半導体デバイスの検査をする装置。ATE(Automated Test Equipment)や半導体検査装置とも呼ばれる。製造過程のウェーハと半導体チップの大きく2つで検査する。メモリテスタ、ロジックテスタなどがある。半導体生産ラインの最終工程では搬送機(ハンドラ)と組み合わせて使われる。日本のアドバンテストは世界No1メーカ(元々メモリテスタが強く、半導体の主流がメモリになり躍進)。以前はキーサイト・テクノロジー、横河電機、安藤電気、シバソク、ミナトエレクトロニクスなどの計測器メーカがあったが全て撤退。計測器の業界団体である日本電気計測器工業会(JEMIMA)は一般の電子計測器とは別枠で扱っている。半導体テスタを手掛けた計測器メーカについて述べる。1950年代に電子計測器メーカとして創業した「タケダ理研工業」は1970年代に富士通が資本参加して社名は「アドバンテスト」になった。同社が古くからつくってきた機種群(RF製品以外の主に低周波の製品)は「エーディーシー」社に引き継がれた。タケダ理研のコンペチタであり、同様に創業者が社名である安藤電気は、電電ファミリーとして通信計測器と、NECの子会社として半導体テスタ(主にロジックテスタ)を作る会社だった。NECは半導体事業から撤退(半導体デバイスの子会社であるNECエレクトロニクスを、三菱電機・日立系のルネサスエレクトロニクスに経営統合)し、半導体テスタはグループ内に不要となり、安藤電気から資本を引き揚げた。2001年に安藤電気は横河電機の傘下となり、現在は会社としては存続していない。安藤電気の半導体テスタや光デバイス(フォトニクス)技術は横河電機に引き継がれたが、現在はその事業は消滅し、継承されていない。2000年頃にキーサイト・テクノロジーと競っていた光通信計測器は横河計測株式会社の1つの製品群になっている。同社の光スペクトラムアナライザは世界No1。タケダ理研のアナログ計測技術の計測器はエーディーシーに引き継がれたが、安藤電気の光通信計測器は横河計測として生き残った。半導体テスタは1970年代から2000年代に計測器メーカが担った最先端の花形製品だった。

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