プローバ

(prober)
半導体デバイスの検査装置の1種。メーカによってはプロービングマシンとも呼称。半導体テスタの周辺機器でもある。乾山のような多くの針(探針)がある治具(ジグ)。半導体テスタとDUTをつなぐもの(半導体検査装置メーカの東京精密などが有名)。完成した半導体を半導体テスタに搬送するのがハンドラ。自動搬送機であるハンドラで検査を効率化する。プローバやハンドラは半導体検査装置の1種(周辺機器)である。
プローバにはオート(自動式)とマニュアル(手動式)がある。前述の東京精密などの装置はオートで、半導体テスタやハンドラと組み合わせて使用される。半導体のイベントであるSEMICON JAPAN(旧セミコンショー)には多くのプローバが出展している。雄山株式会社(OYAMA)はマニュアルの老舗である。8インチまでの半導体ウェーハのマニュアルプローバをカタログ品として公開している。ピンは乾山のように複数はない。ウェーハ用はX-Yステージを備えているが、チップ用のプローバは備えていない。また、ウェーハ上を百カ所以上検査するにはマニュアルでは不向きなので、半自動の機能を持つ製品があり、セミ・オートと呼ばれる。そのため、前述のオートはフル・オートとも呼称される。

ネットワークアナライザなどの治具にもプローバと呼ばれる物がある。微細なDUTにプロービング(プローブをあてて接続し、測定)するために、調芯(アライメント)が可能な3軸ステージを使うことがあり、「プローバ」や「調芯ステージ」と称している。光導波路などの光電融合(シリコンフォトニクス)デバイスの評価に、光測定器(偏波の測定器)とステージをペアにした測定システムをキーサイト・テクノロジーは提案している(以下のKeysight World取材記事が詳しい)。

proberは「プローブするもの」。probe(プローブ)はオシロスコープのアクセサリを指しているが、広義には探針(測定や検査のために対象物に接触・接続する針)のことで、計測器の入力に使う治具である。プローバは計測器の治具としても使われるが、一般には半導体検査装置の1種である。プローブは計測器のオシロスコープ用の探針を指す。プローバとプローブは同じく計測の用語だが、用途が全く異なる。