計測関連用語集

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詳細説明

チャンバ

読み方:

ちゃんば

カテゴリー:

#半導体測定器 #環境試験器

(chamber)
小さな部屋、空間のこと。たとえば環境試験器では試験槽をチャンバということがある。「環境試験チャンバ」という呼称もされている。チャンバは広い業界で使われる。たとえば半導体製造装置でも使われている。CVD装置などでは「化学反応、物理反応を起こさせるための密封された容器」をチャンバと呼称している。
thermostatic chamberを日本語にすると「温度が静的なチャンバ」で、恒温槽のことである。この場合、チャンバは「大きな容器」、「おけ」という意味で使われている。

文化庁による「外来語(カタカナ)表記ガイドライン 第3版(「平成3年6月28日 内閣告示第二号『外来語の表記』」)では、「英語の語尾の-er、-or、-arなどは、原則として長音とし長音符号「ー」を用いる」とある。それに従えば「チャンバー」だが、技術用語を規定しているJISでは、2文字までは末尾を伸ばすが(たとえば自動車の「カー」)、3文字からは伸ばさない(モータ、センサ、など)とある。巷では「チャンバー」が多いが、本稿ではJISに従い「チャンバ」にしている。
計測器の名称も「マルチメータ―」ではなく「マルチメータ」が、技術用語としては適切な表記といえるが、メーカー、エネルギーなど統一されてはいない。レーザーは、業界団体(社団法人や学会など)が「レーザー」と「レーザ」の両方を使っていてまったく統一されていない。光ファイバも「ファイバー」という表記が大変多い。

参考記事
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