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[データシート] B1500A 半導体デバイス・アナライザ

マルチ周波数キャパシタンス測定ユニット(MFCMU)

商品紹介

概要 電流/電圧(IV)とキャパシタンス/電圧(CV)の統合による、信頼できるCV測定の実現
Keysight B1500AのKeysight B1520Aマルチ周波数キャパシタンス測定ユニット(MFCMU)は、長年にわたるKeysight LCRメータのテクノロジーと知識をベースにしたものです。
Keysight B1500A半導体デバイス・パラメータ・アナライザの高確度のキャパシタンス測定機能を拡張することができます。
MFCMUとソース/メジャー・ユニット(SMU)を統合したKeysight B1500Aは、基本的なIV測定からCV、C-t、C-f、準静的CV(QS-CV)などの各種キャパシタンス測定までを1台で提供する、オールインワンのIV/CV測定ソリューションです。
EasyEXPERTソフトウェアの解析/データ管理機能と同様に、B1500Aは、非常に高性能で、半導体、カーボン・ナノチューブ(CNT)やカーボン・ナノワイヤ(CNW)、アクティブ/パッシブ・コンポーネント、材料、正確で精密なIV/CV測が必要な電気機器など幅広いデバイスのIV/CV特性評価を実行するのに有用です。
自動接続変更による簡単で高速で正確なIV/CV測定
さらに、オプションのSMU CMU統合ユニット(SCUU)を搭載すれば、測定確度を低下させることなく、CV測定とIV測定を非常に簡単に切り替えることができます。
B1500AとSCUUの組み合わせにより、切り替えや確度の問題に対応できるだけでなく、CV測定の補正、接続、戻り経路の問題も解決できます。
これはすべて自動的に実行されます。CV測定に関する理論を詳細に理解している必要はありません。
SCUUの内蔵バイアス・ティーによる最大100 Vのバイアスのキャパシタンス測定
MFCMUには、最大25 VのDCバイアス信号源が内蔵されているので、測定器を追加しなくても簡単にバイアスを印加することができます。
より高いDC電圧が必要な場合は、SMUによってSCUUに内蔵されているバイアス・ティー経由で、DCバイアスを100 Vまで拡大することができます。
広いDCバイアスの拡張性により、さまざまなデバイスの高速で容易で正確なIV/CV測定を実現できます。
■主な特長と仕様
・ CV(キャパシタンス/電圧)、C-t(キャパシタンス/時間)、C-f(キャパシタンス/周波数)測定用のマルチ周波数ACインピーダンス測定機能
・ 1 kHz~5 MHzの周波数レンジ、最小1 mHzの周波数分解能
・ 25 Vの内蔵DCバイアスとSMU/SCUU(SMU CMU統合ユニット)による100 VのDCバイアス
・ SCUUによる自動接続変更による簡単で高速で正確なIV/CV測定
・ 最大250 mVrmsの信号レベル
・ 1001個のCV/C-f/C-t測定掃引ポイント
・ サポート測定:Cp-G, Cp-D, Cp-Q, Cp-Rs, Cs-Rs, Cs-D, Cs-Q, Lp-G, Lp-D, Lp-Q, Lp-Rs, Ls-Rs, Ls-D, Ls-Q, R-X, G-B, Z-θ, Y-θ
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