・10 kHz～300 MHz
・高速測定(最大掃引速度:1ポイント当たり0.04 ms)、高速波形解析コマンド、高速プロセッサによる生産性の向上
・波形解析コマンド/位相トラッキング機能によりフィルター/共振子を高速に評価
・ 内蔵IBASICにより自動化プログラムを容易に開発可能
・蒸着モニター機能(オプション022)による蒸着装置の制御