TechEyesOnline取材班（TEO）は2019年3月9日（土）～12日（火）に東京工業大学 大岡山キャンパス　体育館で開催されたJSAP EXPO Spring 2019 Exhibition（第66回応用物理学会春季学術講演会と同時開催の展示会）を回りました。 　薄膜形成・加工装置や真空機器、光学機器・光学測定器・レーザーなどのフォトニクス製品、冷却機器、電源、分析機器、材料など幅広く約150社が出展しました。 　ポスターセッションには多くの大学が研究成果の展示を行い見学者で盛況でした。ポスターセッションから東京理科大学のCNFフィルムを、真空コーナからPLDでは世界標準のパスカルの新製品、レーザーアシスト基板加熱機構を、フォトニクスコーナからレーザーテックの白色コンフォーカルなど6つの機能を備えたレーザー顕微鏡をご紹介します。

乾式・湿式薄膜形成プロセスに応用可能